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방폭 지역 설치형 초음파 음향 탐지 장치


초음파 배열센서를 이용한 고압가스 누출 탐지 제품인 BATCAM eCX는 방폭 환경에서 

안전하게 운용할 수 있도록 설계된 실시간 가스 누출 모니터링 시스템입니다.

고압가스 배관 및 가스 캐비닛에서 발생할 수 있는 고속 누출 시 초음파 신호를 비접촉 방식으로

감지하여 즉각적인 경보를 제공하며, 폭발 위험 구역에서도 안정적인 감시가 가능합니다.

가스 종류나 농도에 영향을 받지 않고 누출 여부를 신속하게 확인할 수 있어 다양한 산업 현장에서 

높은 신뢰성을 제공합니다. 특히 반도체, 석유화학, 정유, 플랜트, 발전소 및 제조 설비 등 

방폭 요구 환경에 적합하며, 잠재적인 폭발·화재 사고를 사전에 예방하고 설비 안전성과 

운영 효율을 향상시키는 데 기여합니다.

 


하드웨어

  • II 2G Ex ib mb IIC T4 Gb / II 2D Ex ib mb IIIC T135°C Db 방폭 등급 제공
  • 24채널 Digital MEMS 마이크로폰 적용 및 1 kHz ~ 100 kHz 초음파 대역 지원
  • 200 kHz 샘플링 레이트와 24-bit Bit Depth 기반의 고정밀 신호 수집 지원
  • 40 mm Aperture Size
  • 120°(H)×120°(V)
    Beamforming 시야각 지원
  • RS 485 1ch 및 4~20mA 1CH, Relay 2CH, Ethernet 1CH 통합 케이블을 통한
    인터페이스 지원
  • DC 12V~24V 전원 지원으로
    다양한 산업 환경 설치 가능

  • 100 × 100 × 50 mm 이내의 소형 설계 및 전용 마운팅 브라켓 제공

  • 통합 케이블 구조 적용으로
    설치 및 유지보수 편의성 향상  

하드웨어

  • II 2G Ex ib mb IIC T4 Gb / II 2D Ex ib mb IIIC T135°C Db 방폭 등급 제공
  • 24채널 Digital MEMS 마이크로폰 적용 및 1 kHz ~ 100 kHz 초음파 대역 지원
  • 200 kHz 샘플링 레이트와 24-bit Bit Depth 기반의 고정밀 신호 수집 지원
  • 40 mm Aperture Size
  • 120°(H) × 120°(V) Beamforming 시야각 지원
  • RS 485 1ch 및 4~20mA 1CH, Relay 2CH, Ethernet 1CH 통합 케이블을 통한 인터페이스 지원
  • DC 12V~24V 전원 지원으로 다양한 산업 환경 설치 가능

  • 100 × 100 × 50 mm 이내의 소형 설계 및 전용 마운팅 브라켓 제공

  • 통합 케이블 구조 적용으로 설치 및 유지보수 편의성 향상  

초음파 기반 비접촉 방식으로 가스 종류와 관계없이
빠른 누출 감지 가능
RS-485, Ethernet, 4~20mA 등
다양한 산업용 인터페이스 지원으로 시스템 연동 용이
실시간 모니터링, 자동 이벤트 감지 및 저장 기능을 통한
 산업 현장 안전 관리 효율 향상

소프트웨어

반도체 가스 캐비닛 설비 내 가스 누출여부를 실시간 감지

반도체 공정 설비의 가스 및 공압 누출은 액추에이터 오동작, 정밀도 저하, 웨이퍼 파손 및 공정 오염을 유발하여 수율에 직접적인 영향을 미칠 수 있습니다. 

BATCAM eCX는 초음파 기반 실시간 모니터링을 통해 가스 및 공압 누출 위치를 즉시 시각화하고 이상 징후를 조기에 감지하여 공정 신뢰성 향상과 수율 보호에 기여합니다.


제품 사양

제품 사양
센서 (마이크로폰)24ch digital MEMS
유효 주파수 범위1~100 kHz
마이크로폰 감도-
마이크로폰 신호대잡음비-
마이크로폰 SNR-
누출 감지 방식초음파 배열센서 탐지
최소 경보 농도
-
정밀도
-
검출 경보 시간0.5초 이내
크기 및 무게
100 x 100 x 50(mm) / TBD
핑거프린트 기능-
탐지 거리1 ~ 2m
인터페이스RS 485, Gigabit Ethernet
소비 전력DC 12 V ~ DC 24 V, 6 W
마운팅전용 마운트 키트, M4 TAP
시스템 연동
통신 방식

Gigabit Ethernet(CAT5)

RS 485

이벤트 트리거링Beam power level 기반 Trigger , Wafer crack Trigger 지원
환경
IP 등급-
동작 온도-20℃~+50℃
인증
방폭

II 2G Ex ib mb IIC T4 Gb

II 2D Ex ib mb IIIC T135°C Db

인증서


*아이콘 클릭 시 다운로드 가능